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新加坡AMF推出PIC多層波導矽基氮化矽集成平台

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新加坡AMF推出PIC多層波導矽基氮化矽集成平台

發布日期:2018-12-02 作者: 點擊:

新加坡先進微晶圓廠(Advanced Micro Foundry,AMF),一家從IME獨立出來的新興企業,專注于提供矽光子代工能力,宣布推出多層級矽基氮化矽(SiN-on-Si)的光子集成電路(PIC)平台。該平台實現了3D光子納米結構的密集集成,該公司稱其可實現小尺寸、低損耗、性能升級和制造公差。


  AMF表示,SiN-on-Si方法改進了矽光子常用的絕緣體上矽(SOI)。 SOI方法在最頂層的矽層上制成光波導,并在頂部集成不同的功能(可能使用不同的材料)。SOI方法已經成功用于制作光收發器中的光學次模塊、有源光纜、醫學傳感器、光學雷達和其他應用。


  不過,AMF CEO Dr. Tan Yong Tsong卻表示:“在其他産品中,例如超大規模(VLS)的光子集成電路要求高密集集成的片上光學路由網絡,其一個SOI平台會受到單一波導層的限制。而與之相反,為了應對不同且複雜的要求,具有更低光學損耗的多個波導層成為了客戶需求。”


  AMF表示SiN-on-Si方法可以滿足這些新興需求,相比于标準矽,SiN波導提供更低光學損耗。其與包層氧化物的低折射率對比度也增加了制造公差,在陣列波導光栅(AWG)和其他架構下可以充分使用。同時,AMF還補充到,SiN-on-Si方法可将高速調制器、鍺光電探測器和溫度可調器件被多個SiN波導集成在雙層SiN-Si或三層SiN-SiN-Si波導系統中。

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