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氮化矽合成的方法-中彙新材

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氮化矽合成的方法-中彙新材

發布日期:2017-03-26 作者: 點擊:

       氮化矽合成有一個重要的條件就是溫度了,它的溫度是需要達到1300-1400°的。使用單質矽和氮氣進行合成的氮化矽産品,這樣簡單的講是很容易的,下面是我們為大家詳細的分析其合成的方法。

       氮化矽合成也可用二亞胺合成或用碳熱還原反應在1400-1450°C的氮氣氣氛下合成:對單質矽的粉末進行滲氮處理的合成方法是在二十世紀50年代随着對氮化矽的重新“發現”而開發出來的。也是第一種用于大量生産氮化矽粉末的方法。但如果使用的矽原料純度低會使得生産出的氮化矽含有雜質矽酸鹽和鐵。用二胺分解法合成的氮化矽是無定形态的,需要進一步在1400-1500°C的氮氣下做退火處理才能将之轉化為晶态粉末,目前二胺分解法在重要性方面是僅次于滲氮法的商品化生産氮化矽的方法。碳熱還原反應是制造氮化矽的最簡單途徑也是工業上制造氮化矽粉末最符合成本效益的手段。

       電子級的氮化矽薄膜是通過化學氣相沉積或者等離子體增強化學氣相沉積技術制造的;如果要在半導體基材上沉積氮化矽,有兩種方法可供使用:氮化矽的晶胞參數與單質矽不同。

       所以因為沉積的方法不一樣,那麼生産的氮化矽的薄膜也不一樣的,并且還會有張力和應力之間的區别,尤其是使用了等離子增強的化學氣相沉積的技術的時候,可以通過調節的沉積參數來減少其張力。


       安徽快3开奖直播主要産品有氮化矽亞微米級粉體和各類氮化矽結構件,同時有各種規格自懸浮型石油壓裂支撐劑和覆膜型石油壓裂支撐劑等油氣田新型産品。欲了解更多氮化矽、懸浮砂、覆膜砂等相關産品,可訪問www.summertail.com進行查看,或者撥打熱線電話13803717466進行咨詢!


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