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氮化矽廠家-中彙新材介紹其生産工藝

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氮化矽廠家-中彙新材介紹其生産工藝

發布日期:2017-03-25 作者: 點擊:

  氮化矽制品按工藝可以分為反應燒結制品、熱壓制品、常壓燒結制品、等靜壓燒結制品和反應重燒制品等。其中,反應燒結是一種常用的生産氮化矽耐火制品的方法。

  反應燒結法生産氮化矽制品是将磨細的矽粉(粒度一般小于80μm),用機壓或等靜壓成型,坯體幹燥後,在氮氣中加熱至1350~1400℃,在燒成過程中同時氮化而制得。采用這種生産方法,原料條件和燒成工藝及氣氛條件對制品的性能有很大的影響。

  矽粉中含有許多雜質,如Fe,Ca,Aì,Ti等。Fe被認為是反應過程中的催化劑。它能促進矽的擴散,但同時,也将造成氣孔等缺陷。Fe作為添加劑的主要作用:在反應過程中可作催化劑,促使制品表面生成SiO2氧化膜;形成鐵矽熔系,氮溶解在液态FeSi2中,促進β-Si3N4的生成。但鐵顆粒過大或含量過高,制品中也會出現氣孔等缺陷,降低性能。一般鐵的加入量為0~5%。Al,Ca,Ti等雜質,易與矽形成低共熔物。适當的添加量,可以促進燒結,提高制品的性能。

  矽粉的粒度越細,比表面積越大,則可降低燒成溫度。粒度較細的矽粉與粒度較粗的矽粉相比,制品中含α- Si3N4的量增高。降低矽粉的粒徑,可以降低制品的顯微氣孔尺寸。适當的粒度配比,可以提高制品密度。

  溫度對氮化速率影響很大。在970~1000℃氧化反應開始,在1250℃左右反應速率加快。在高溫階段,由于是放熱反應,若溫度很快超過矽的熔點(1420℃),則易出現流矽,嚴重的将使矽粉坯體熔融坍塌。


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